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- Titel:
Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation
- Dokumenttyp:
- Buch
- Autor(en):
- Reutter, T.
- Herausgeber:
- Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D.
- Band / Teilband / Volume:
- Vol. 47
- Serientitel/Schriftenreihe:
- Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
- Verlag / Institution:
- Shaker Verlag
- Verlagsort:
- Aachen, Germany
- Seiten/Umfang:
- 132
- Jahr:
- 2015
- Print-ISBN:
- 978-3-8440-3490-5
- Sprache:
- de
- Format:
- Text
BibTeX