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Titel:

Enabling Technologies for System-Level Simulation of MEMS

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of 14th International Conference on Thermal, Mechanical & Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems - EuroSimE
Kongress / Zusatzinformationen:
Wrozlaw, Poland, April 15-17, 2013
Verlag / Institution:
IEEE
Jahr:
2013
Print-ISBN:
978-1-4673-6137-8
Sprache:
en
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