System-Level Modeling of MEMS

Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L.

Titel:: System-Level Modeling of MEMS
Dokumenttyp:: Buch
Herausgeber:: Bechtold, T.; Schrag, G.; Feng, L.
Serientitel/Schriftenreihe:: Advanced Micro & Nanosystems
Serienbandnummer:: 10
Verlag / Institution:: Wiley-VHC
Verlagsort:: Weinheim
Jahr:: 2013
Print-ISBN:: 978-3-527-31903-9
Format:: Text
BibTeX