- Titel:
VERTICAL INTERCONNECT STRUCTURE, MEMORY DEVICE AND ASSOCIATED PRODUCTION METHOD
- Dokumenttyp:
- Patentanmeldung
- Patentanmeldung Nr.:
- US 2012305873 (A1)
- Erfinder:
- Gutsche; Martin; Kreupl; Franz ; Seidl; Harald
- Patentanmelder:
- Gutsche; Martin; Kreupl; Franz ; Seidl; Harald
- Anmeldeland:
- US
- Veröffentlichungsdatum / Anmeldung:
- 06.12.2012
- Jahr:
- 2012
- Sprache:
- en
- Nachgewiesen in:
- Scopus
- TUM Einrichtung:
- Hybride Elektronische Systeme
- Format:
- Text
- BibTeX