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Titel:

VERTICAL INTERCONNECT STRUCTURE, MEMORY DEVICE AND ASSOCIATED PRODUCTION METHOD

Dokumenttyp:
Patentanmeldung
Patentanmeldung Nr.:
US 2012305873 (A1)
Erfinder:
Gutsche; Martin; Kreupl; Franz ; Seidl; Harald
Patentanmelder:
Gutsche; Martin; Kreupl; Franz ; Seidl; Harald
Anmeldeland:
US
Veröffentlichungsdatum / Anmeldung:
06.12.2012
Jahr:
2012
Sprache:
en
Nachgewiesen in:
Scopus
TUM Einrichtung:
Hybride Elektronische Systeme
Format:
Text
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