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- Titel:
Improving the reliability of electrostatically actuated RF-MEMS switches: FEM simulations and measurements on a thermal recovery mechanism
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Künzig, T.; Schrag, G.; Iannacci, J.; Wachutka, G.
- Seitenangaben Beitrag:
- pp 340-345
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the 13th Mechatronics Forum - International Conference
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Mechatronics 2012, Sept. 17-19, Linz, Austria
- Jahr:
- 2012
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
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