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Titel:

Study of an active thermal recovery mechanism for an electrostatically actuated RF-MEMS switch

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Künzig, T.; Iannacci, J.; Schrag, G.; Wachutka, G.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of the 13th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
Kongress / Zusatzinformationen:
EuroSime 2012, April, 16-18, Cascais, Portugal
Verlag / Institution:
IEEE
Jahr:
2012
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Erscheinungsform:
CD-ROM / DVD
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