Modeling and physical analysis of an out-of-plane capacitive MEMS transducer with dynamically coupled electrodes

Bosetti, G.; Manz, J.; Dehé, A.; Krumbein, U.; Schrag, G.

doi:10.1007/s00542-018-04290-2

Dokumenttyp:: Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):: Bosetti, G.; Manz, J.; Dehé, A.; Krumbein, U.; Schrag, G.
Titel:: Modeling and physical analysis of an out-of-plane capacitive MEMS transducer with dynamically coupled electrodes
Zeitschriftentitel:: Microsystem Technologies
Jahr:: 2019
Volltext / DOI:: doi:10.1007/s00542-018-04290-2
Verlag / Institution:: Springer Berlin Heidelberg
Publikationsdatum:: 16.03.2019
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