Login
- Title:
"Miniaturisierung hochsensitiver, hitzdrahtbasierter Massenflusssensoren mit Hilfe von Halbleiterfertigungstechnologie"
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Author(s):
- Seidl, M.; Schrag, G.; Tumpold, D.; Klein, W.
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress
- Year:
- 2021
BibTeX