- Title:
Entwicklung einer integrierten mikroelektromechanischen Pumpe für mobile Anwendungen
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Author(s):
- Seidl, M.; Schrag, G.; Tumpold, D.
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress
- Date of congress:
- 28- 30 Oktober
- Year:
- 2019
- BibTeX