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- Titel:
High-Fidelity 3D FEM Simulation Model for Stress Reduction in MEMS Microphones
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Zöpfl, T.; Wittman, F.; Schrag, G.; Wachutka, G.,
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 68-71
- Kongress- / Buchtitel:
- EUROSENSORS XXII
- Kongress / Zusatzinformationen:
- 07.09.208 - 10.09.2008, Dresden
- Jahr:
- 2008
- Sprache:
- de
- Format:
- Text
BibTeX