- Titel:
Automated extraction of multi-energy domain reduced-order models demonstrated on capacitive MEMS microphones
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Bedyk, W. ; Niessner, M. ; Schrag, G. ; Wachutka, G. ; Margesin, B. ; Faes, A.
- Zeitschriftentitel:
- Sensors and Actuators A Physical
- Jahr:
- 2008
- Sprache:
- de
- Format:
- Text
- BibTeX