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Titel:

Automated extraction of multi-energy domain reduced-order models demonstrated on capacitive MEMS microphones

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Bedyk, W. ; Niessner, M. ; Schrag, G. ; Wachutka, G. ; Margesin, B. ; Faes, A.
Zeitschriftentitel:
Sensors and Actuators A Physical
Jahr:
2008
Sprache:
de
Format:
Text
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