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- Titel:
An Energy Harvester Concept for Electrostatic Conversion Manufactured in MEMS Surface Micromachining Technology
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Iannacci, J.; Sordo, G.; Gotthardi, M.; Künzig, T.; Schrag, G., Wachutka, G.
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the International Semiconductor Conference Dresden-Grenoble
- Kongress / Zusatzinformationen:
- ISCDG 2013, September 26-27, Dresden Germany
- Jahr:
- 2013
- Sprache:
- en
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