- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Künzig, T.; Niessner, M. ; Wachutka, G.; Schrag, G.; Hammer, H.
- Titel:
- "The Effect of Thermoelastic Damping on the Total Q-Factor of State-of-the-Art MEMS Gyroscopes with Complex Beam-Like Suspensions"
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of EUROSENSORS XXIV
- Kongress / Zusatzinformationen:
- September 5-8, 2010, Linz, Austria
- Jahr:
- 2010
- Sprache:
- en
- Erscheinungsform:
- CD-ROM / DVD
- Format:
- Text
BibTeX