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Titel:

SURFACE PROCESSES AND RATE-DETERMINING STEPS IN PLASMA-INDUCED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION - TITANIUM NITRIDE, BORON-CARBIDE AND SILICON

Autor(en):
VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
Jahr:
1990
Band / Volume:
43-4
Heft / Issue:
1-3
Seitenangaben Beitrag:
154-166
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