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- Titel:
HETEROEPITAXY OF BETA-SIC FROM METHYLTRICHLOROSILANE AND METHYLTRIBROMOSILANE ON SI(100) WITHOUT A CARBON BUFFER LAYER
- Autor(en):
- KUNSTMANN, T; VEPREK, S
- Zeitschriftentitel:
- APPLIED PHYSICS LETTERS
- Jahr:
- 1995
- Band / Volume:
- 67
- Heft / Issue:
- 21
- Seitenangaben Beitrag:
- 3126-3128
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