In situ XPS studies of the deposition of TiNxCy films from tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) and bis[N,N'-bis(tert-butyl)ethylenediamido]titanium(IV)

Benutzer: Gast

Titel:: In situ XPS studies of the deposition of TiNxCy films from tetrakis(dimethylamido)titanium(IV) and bis[N,N'-bis(tert-butyl)ethylenediamido]titanium(IV)
Autor(en):: RUHL, G; REHMET, R; KNIZOVA, M; al., et
Zeitschriftentitel:: CHEMISTRY OF MATERIALS
Jahr:: 1996
Band / Volume:: 8
Heft / Issue:: 12
Seitenangaben Beitrag:: 2712-2720
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