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Titel:

Plasma-induced deposition of titanium nitride from TiCl4 in a direct current glow discharge: Control of the chlorine content and gas-phase nucleation

Autor(en):
PATSCHEIDER, J; LI, SZ; VEPREK, S
Zeitschriftentitel:
PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING
Jahr:
1996
Band / Volume:
16
Heft / Issue:
3
Seitenangaben Beitrag:
341-363
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