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Titel:

Selective deposition of amorphous germanium on Si with respect to SiO2 by organometallic CVD

Autor(en):
PROKOP, J; MERICA, R; GLATZ, F; al., et
Zeitschriftentitel:
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS
Jahr:
1996
Band / Volume:
200
Seitenangaben Beitrag:
1026-1028
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