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Titel:

Enhanced Fluid Flow by Wavelike Excitation of a Micromechanical Bending Actuator

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Hölzl, W.; Behlert, R.; Gehring, M. and Schrag, G.
Kongress- / Buchtitel:
20th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE)
Datum der Konferenz:
23- 27.06
Jahr:
2019
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