- Title:
Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Author(s):
- Rumschoettel, D.; Kagerer, M.; Irlinger, F.; Lüth, T.C.
- Book / Congress title:
- MikroSystemTechnik Kongress
- Date of congress:
- 26.-28. Oktober
- Year:
- 2015
- BibTeX