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- Titel:
Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen Membrandruckkopfes
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Rumschoettel, D.; Kagerer, M.; Irlinger, F.; Lüth, T.C.
- Kongress- / Buchtitel:
- MikroSystemTechnik Kongress
- Datum der Konferenz:
- 26.-28. Oktober
- Jahr:
- 2015
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