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Titel:

COMPACT MODEL FOR THE STATIC AND DYNAMIC BEHAVIOR OF A PIEZOELECTRIC BIMORPH ACTUATOR FOR MICROFLUIDIC MEMS

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Rumschoettel, D.; Kagerer, M.; Lueth, T.C.; Irlinger, F.
Kongress- / Buchtitel:
ASME 2014 International Mechanical Engineering Congress & Exposition (IMECE 2014)
Jahr:
2014
Nachgewiesen in:
; Scopus; Web of Science
Sprache:
en
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