Login
- Titel:
High-rate deposition of AlTiN and related coatings with dense morphology by central cylindrical direct current magnetron sputtering
- Autor(en):
- Jílek, M., Jr.; Jílek, M.; Mendez Martin, F.; Mayrhofer, P.H.; Veprek, S.
- Zeitschriftentitel:
- Thin Solid Films
- Jahr:
- 2014
- Band / Volume:
- 556
- Seitenangaben Beitrag:
- 361-368
- Volltext / DOI:
- doi:10.1016/j.tsf.2014.01.059
- Verlag / Institution:
- Elsevier BV
- Publikationsdatum:
- 01.04.2014
BibTeX