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Titel:

High-rate deposition of AlTiN and related coatings with dense morphology by central cylindrical direct current magnetron sputtering

Autor(en):
Jílek, M., Jr.; Jílek, M.; Mendez Martin, F.; Mayrhofer, P.H.; Veprek, S.
Zeitschriftentitel:
Thin Solid Films
Jahr:
2014
Band / Volume:
556
Seitenangaben Beitrag:
361-368
Volltext / DOI:
doi:10.1016/j.tsf.2014.01.059
Verlag / Institution:
Elsevier BV
Publikationsdatum:
01.04.2014
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