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Titel:

System-Level Modeling of Silicon Microphones Including Distributed Effects

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Kuenzig, T.; Schrag, G.; Nawaz, M.; Herrmann, M.; Dehe, A.; Wachutka, G.
Kongress- / Buchtitel:
EUROSENSORS 2014, the XXVIII edition of the conference series
Kongress / Zusatzinformationen:
Brescia, Italy, Sept. 7-10, 2014
Verlag / Institution:
Elsevier Procedia Engineering
Jahr:
2014
Sprache:
en
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