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Titel:

Theoretical and Experimental Investigations on Failure Mechanisms Occuring During Long-Term Cycling of Electrostatic Actuators

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Behlert, R.: Künzig, T.; Schrag, G.: Wachutka, G.
Herausgeber:
IEEE
Kongress- / Buchtitel:
15th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
Kongress / Zusatzinformationen:
EuroSimE 2014
Datum der Konferenz:
April, 7-9
Jahr:
2014
E-ISBN:
978-1-4799-4790-4
Reviewed:
ja
Sprache:
en
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