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Titel:

First-principles molecular dynamics study of the thermal stability of the BN, AlN, SiC and SiN interfacial layers in TiN-based heterostructures: Comparison with experiments

Autor(en):
Ivashchenko, V. I.; VEPREK, S.
Zeitschriftentitel:
THIN SOLID FILMS
Jahr:
2013
Band / Volume:
545
Seitenangaben Beitrag:
391--400
Volltext / DOI:
doi:10.1016/j.tsf.2013.08.047
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