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- Document type:
- Patent
- Patent number:
- DE 10393702 B4
- Inventor:
- Kreupl, Franz [DE], Hoffmann, Franz, [DE]
- Title:
- Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle, Speicherzelle und Speicherzellen-Anordnung
- Patent office:
- DE
- Publication date patent:
- 15.04.2010
- Year:
- 2010
- TUM Institution:
- Hybride Elektronische Systeme
- Format:
- Text
BibTeX