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- Original title:
- Bimorph-Piezoaktoren mit strukturierten Elektroden für die Mikrofluidik
- Translated title:
- Piezoelectric bimorph actuators with structured electrodes for micro fluids
- Author:
- Günther, Daniel
- Year:
- 2008
- Document type:
- Dissertation
- Faculty/School:
- Fakultät für Maschinenwesen
- Advisor:
- Lüth, Tim C. (Prof. Dr.)
- Referee:
- Lüth, Tim C. (Prof. Dr.); Ulbrich, Heinz (Prof. Dr. Dr. habil.); Heinzl, Joachim (Prof. Dr. Dr. E.h.)
- Language:
- de
- Subject group:
- MAS Maschinenbau
- Keywords:
- Piezoaktoren, Mikrosysteme, strukturierte Elektroden, Mikropumpen, Mikroventile, Einzeltropfenerzeuger
- Abstract:
- Bimorph-Piezoaktoren eignen sich als Antriebe für Mikropumpen, Mikroventile und Einzeltropfenerzeuger. Durch strukturierte Elektroden auf der Piezokeramik kann die Fertigung gegenüber dem Stand der Technik vereinfacht werden. Wesentlich ist ein Wegfall der Bearbeitung der Keramik und die vereinfachte elektrische Kontaktierung. Auf Grund der strukturierten Elektroden wird eine erhöhte Membransteifigkeit und eine reduzierte Lagerreaktion erzielt. Die Leistungsdichte eines Mikrosystems mit Piezoakt... »
- Translated abstract:
- Piezoelectric bimorph actuators are used as drivers for micro pumps, micro valves and droplet generators. The use of structured electrodes on the ceramics simplifies the fabrication compared to the state of the art. Essential is the abolition of the ceramics machining and a simplfied electric contacting. With stuctured electrodes a higher membrane stiffness and a reduced bearing reaction can be archieved. Thus the power density of a micro system can be increased
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=628543
- Date of submission:
- 25.09.2007
- Oral examination:
- 06.05.2008
- Pages:
- 153
- Urn (citeable URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20070920-628543-1-5
- Last change:
- 30.05.2008
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