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- Titel:
Improvement of Roughness Measurement in Sub-micron Ranges Using Contrast-based Depolarization Field Components
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Pöller, F.; Salazar Bloise F.; Jakobi, M.; Dong, J.; Koch, A.W.
- Seitenangaben Beitrag:
- S.173-S.183
- Kongress- / Buchtitel:
- OCM 2021 - Optical Characterization of Materials: Conference Proceedings
- Datum der Konferenz:
- 17.03.2021 – 18.03.2021
- Publikationsdatum:
- 17.03.2021
- Jahr:
- 2021
- Volltext / DOI:
- doi:10.5445/KSP/1000128686
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