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- Titel:
Non-Contact Roughness Measurement in Sub-Micron Range by Considering Depolarization Effects
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Pöller, F.; Salazar Bloise, F.; Jakobi, M.; Wang, S.; Dong, J.; Koch, A.W.
- Zeitschriftentitel:
- Sensors
- Jahr:
- 2019
- Heft / Issue:
- 19 / 10
- Seitenangaben Beitrag:
- 1-12
- Reviewed:
- ja
- Volltext / DOI:
- doi:10.3390/s19102215
- WWW:
- https://www.mdpi.com/1424-8220/19/10/2215/htm
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
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