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- Title:
Reflektometrische hyperspektrale Dünnschichtmessung
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Contribution type:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Author(s):
- Tremmel, A.J.; Rauscher, M.S.; Murr, P.J.; Schardt, M.; Koch, A.W.
- Book / Congress title:
- XXIX. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik (AHMT), Ilmenau, Deutschland, 16.-18.09.2015, S. 99-106
- Publisher:
- DE GRUYTER
- Publisher address:
- Oldenburg
- Year:
- 2015
- Year / month:
- 2015-09
- Month:
- Sep
- Print-ISBN:
- ISBN 978-3-11-040852-2
- Reviewed:
- ja
- Language:
- de
- Publication format:
- Fulltext / DOI:
- doi:doi: 10.1515/9783110408539-013
- WWW:
- http://www.degruyter.com/view/product/449349?rskey=LlZSbX&result=1
- Semester:
- SS 15
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Format:
- Text
BibTeX