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Titel:

Reflektometrische hyperspektrale Dünnschichtmessung

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Tremmel, A.J.; Rauscher, M.S.; Murr, P.J.; Schardt, M.; Koch, A.W.
Kongress- / Buchtitel:
XXIX. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik (AHMT), Ilmenau, Deutschland, 16.-18.09.2015, S. 99-106
Verlag / Institution:
DE GRUYTER
Verlagsort:
Oldenburg
Jahr:
2015
Jahr / Monat:
2015-09
Monat:
Sep
Print-ISBN:
ISBN 978-3-11-040852-2
Reviewed:
ja
Sprache:
de
Erscheinungsform:
Print
Volltext / DOI:
doi:doi: 10.1515/9783110408539-013
WWW:
http://www.degruyter.com/view/product/449349?rskey=LlZSbX&result=1
Semester:
SS 15
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
Format:
Text
 BibTeX