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- Titel:
VERTICAL INTERCONNECT STRUCTURE, MEMORY DEVICE AND ASSOCIATED PRODUCTION METHOD
- Dokumenttyp:
- Patentanmeldung
- Patentanmeldung Nr.:
- US 2011248234 (A1)
- Erfinder:
- GUTSCHE MARTIN [DE]; KREUPL FRANZ [DE]; SEIDL HARALD [DE
- Patentanmelder:
- GUTSCHE MARTIN [DE]; KREUPL FRANZ [DE]; SEIDL HARALD [DE
- Anmeldeland:
- US
- Veröffentlichungsdatum / Anmeldung:
- 13.10.2011
- Jahr:
- 2011
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Hybride Elektronische Systeme
- Format:
- Text
BibTeX