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- Titel:
Vertical interconnect structure, memory device and associated production method
- Dokumenttyp:
- Patent
- Patent, Gebrauchsmuster Nr.:
- US 7998858 B2
- Erfinder:
- GUTSCHE MARTIN, DE ; KREUPL FRANZ, DE ; SEIDL HARALD, DE
- Patentanmelder:
- GUTSCHE MARTIN, DE ; KREUPL FRANZ, DE ; SEIDL HARALD, DE
- Veröffentlichungsdatum / Patent:
- 16.08.2011
- Jahr:
- 2011
- Sprache:
- de
- TUM Einrichtung:
- Hybride Elektronische Systeme
- Format:
- Text
BibTeX