Vertically integrated field-effect transistor having a nanostructure therein
Dokumenttyp:
Patent
Patent, Gebrauchsmuster Nr.:
US 7709827 B2
Erfinder:
GRAHAM ANDREW, DE HOFMANN FRANZ, DE HOENLEIN WOLFGANG, DE KRETZ JOHANNES, DE KREUPL FRANZ, DE LANDGRAF ERHARD, DE LUYKEN JOHANNES RICHARD, DE ROESNER WOLFGANG, US SCHULZ THOMAS, US SPECHT MICHAEL, DE