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- Titel:
Comparison of different film thickness evaluation algorithms applicable to spectrometric interrogation systems
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Hirth, F.; Pérez Grassi, A.; Dorigo, D.G.; Koch, A.W.:
- Kongress- / Buchtitel:
- Conference on Interferometry XV: Techniques and Analysis, San Diego, California, USA, 02.08.2010
- Band / Teilband / Volume:
- Proc. SPIE, Vol. 7790, 77900V, 2010
- Jahr:
- 2010
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
- Semester:
- SS 10
- Format:
- Text
BibTeX