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- Titel:
Titel: Rauheitsauswertung mit hoher lateraler Auflösung mittels räumlicher Lichtmodulatoren / Roughness evaluation with high lateral resolution by spatial light modulators
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Pöller, F.; Bilgeri L.M.; Salazar Bloise F.; Jakobi, M.; Wang, S.; Dong, J.; Koch, A.W.
- Zeitschriftentitel:
- tm-Technisches Messen
- Jahr:
- 2019
- Band / Volume:
- 86(S1)
- Seitenangaben Beitrag:
- S22-S26
- Reviewed:
- ja
- Volltext / DOI:
- doi:10.1515/teme-2019-0042
- WWW:
- https://www.degruyter.com/view/j/teme.2019.86.issue-s1/teme-2019-0042/teme-2019-0042.xml?format=INT
- Publikationsdatum:
- 27.08.2019
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