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Titel:

Automated, deep reactive ion etching free fiber coupling to nanophotonic devices

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Flassig, Fabian; Flaschmann, Rasmus; Kainz, Thomas; Ernst, Sven; Strohauer, Stefan; Schmid, Christian; Zugliani, Lucio; Müller, Kai; Finley, Jonathan J.
Herausgeber:
Razeghi, Manijeh
Kongress- / Buchtitel:
Quantum Sensing and Nano Electronics and Photonics XVIII
Verlag / Institution:
SPIE
Publikationsdatum:
05.03.2022
Jahr:
2022
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.2611160
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