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Titel:

Titel: Rauheitsauswertung mit hoher lateraler Auflösung mittels räumlicher Lichtmodulatoren / Roughness evaluation with high lateral resolution by spatial light modulators

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Pöller, F.; Bilgeri L.M.; Salazar Bloise F.; Jakobi, M.; Wang, S.; Dong, J.; Koch, A.W.
Zeitschriftentitel:
tm-Technisches Messen
Jahr:
2019
Band / Volume:
86(S1)
Seitenangaben Beitrag:
S22-S26
Reviewed:
ja
Volltext / DOI:
doi:10.1515/teme-2019-0042
WWW:
https://www.degruyter.com/view/j/teme.2019.86.issue-s1/teme-2019-0042/teme-2019-0042.xml?format=INT
Publikationsdatum:
27.08.2019
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