- Titel:
Surface Shape and Surface Roughness Measurement
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Bodendorfer, T.; Jakobi, M.; Koch, A.W.
- Herausgeber:
- Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
- Beauftragende Einrichtung:
- Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
- Jahr:
- 2011
- Seiten/Umfang:
- pp. 117-118
- Sprache:
- en
- Semester:
- WS 10-11
- Format:
- Text
- BibTeX