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Titel:

Impact of sensor design on the contactless inspection of planar electronic devices by capacitive coupling

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Koerdel, M.; Alatas, F.; Schick, A.; Rupitsch, S.J.; Lerch, R.
Zeitschriftentitel:
Procedia Engineering
Jahr:
2011
Band / Volume:
vol. 25
Seitenangaben Beitrag:
pp. 415-418
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Volltext / DOI:
doi:dx.doi.org/10.1016/j.proeng.2011.12.103
Status:
Verlagsversion / published
Semester:
WS 11-12
Format:
Text
 BibTeX