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- Titel:
Focused ion beam lithography for rapid prototyping of metallic films
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Osswald, P.; Kiermaier, J.; Becherer, M.; Schmitt-Landsiedel, D.
- Kongress- / Buchtitel:
- Verhandl. DPG (VI) 45, 3
- Band / Teilband / Volume:
- 45
- Jahr:
- 2010
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