- Titel:
Monolithic 3D Integrated BEOL Dual-Port Ferroelectric FET to Break the Tradeoff Between the Memory Window and the Ferroelectric Thickness
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Prakash, Om; Ni, Kai; Amrouch, Hussam
- Kongress- / Buchtitel:
- 2023 IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS)
- Jahr:
- 2023
- Monat:
- 03
- Seiten:
- 1-4
- Volltext / DOI:
- doi:10.1109/IRPS48203.2023.10118286
- BibTeX