Die Nanokomposite auf der Basis von harten und stabilen Übergangsmetallnitriden sind eine neue Gruppe thermisch hoch stabiler Materialien mit hoher Härte. In dieser Arbeit wurde eine neue, auf einer Kombination von reaktiver Magnetronzerstäubung und plasmainduzierten chemischen Gasphasenabscheidung basierende Methode zur Darstellung von TiN / Si3N4 - Nanokomposite untersucht und die dargestellten Schichten charakterisiert. Zusätzlich wurden Schichten mit einer reaktiven Zerstäubung von einem Zweikomponenten-Target dargestellt und charakterisiert.
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Die Nanokomposite auf der Basis von harten und stabilen Übergangsmetallnitriden sind eine neue Gruppe thermisch hoch stabiler Materialien mit hoher Härte. In dieser Arbeit wurde eine neue, auf einer Kombination von reaktiver Magnetronzerstäubung und plasmainduzierten chemischen Gasphasenabscheidung basierende Methode zur Darstellung von TiN / Si3N4 - Nanokomposite untersucht und die dargestellten Schichten charakterisiert. Zusätzlich wurden Schichten mit einer reaktiven Zerstäubung von einem Zwe...
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Translated abstract:
Hard and stable transition metal based nanocomposites pose a new group of high hardness materials with a high thermal stability. In this work, a new method, based on a combination of reactive magnetron sputtering and plasma induced chemical vapour deposition, was explored and the films produced were characterized. Furthermore, films were produced by reactive magnetron sputtering with a dual component target and characterized.