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- Originaltitel:
- Optomechanics with high-stress silicon nitride resonators
- Übersetzter Titel:
- Optomechanik mit stark verspannten Siliziumnitridresonatoren
- Autor:
- Hoch, David Christopher Julian
- Jahr:
- 2023
- Dokumenttyp:
- Dissertation
- Fakultät/School:
- TUM School of Natural Sciences
- Betreuer:
- Poot, Menno (Prof. Dr.)
- Gutachter:
- Poot, Menno (Prof. Dr.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.)
- Sprache:
- en
- Fachgebiet:
- PHY Physik
- TU-Systematik:
- TEC 030; PHY 370
- Kurzfassung:
- In this work optomechanical experiments on high-stress silicon nitride resonators are presented. These resonators are realized in a photonic integrated circuit platform. The work includes the nanofabrication of the micro-chips and the building and characterization of the measurement setups. In particular, the experiments include two-dimensional mode-shape mapping on membranes and the stress-tuning on predisplaced micro-beams.
- Übersetzte Kurzfassung:
- In dieser Arbeit werden optomechanische Experimente an stark verspannten Siliziumnitridresonatoren vorgestellt. Diese Resonatoren sind in integrierten photonischen Schaltkreisen verwirklicht. Die Arbeit beinhaltet die Nanofabrikation der Mikrochips und den Aufbau und die Charakterisierung der Messaufbauten. Insbesondere beinhalten die Experimente das Abbilden der zweidimensionalen Modenformen von Membranen und das Abstimmen der Verspannung von vorversetzten Mikrobalken.
- WWW:
- https://mediatum.ub.tum.de/?id=1712245
- Eingereicht am:
- 16.06.2023
- Mündliche Prüfung:
- 22.12.2023
- Dateigröße:
- 111364597 bytes
- Seiten:
- 171
- Urn (Zitierfähige URL):
- https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20231222-1712245-1-4
- Letzte Änderung:
- 19.02.2024
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