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Original title:
Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung
Translated title:
Dynamic Control of Microelectromechanical Systems (MEMS) using Capacitive Transduction and Force Feedback
Author:
Handtmann, Martin
Year:
2004
Document type:
Dissertation
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.)
Referee:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Hierold, Christopher (Prof. Dr.)
Format:
Text
Language:
de
Subject group:
ELT Elektrotechnik
Keywords:
MEMS; Mikromechanik; Delta/Sigma-Modulation; Positionsregelung; Makromodell; elektrostatische Aufhängung; Auflösungsverbesserung; Inertialsensor; Drehratensensor; Beschleunigungssensor
Translated keywords:
MEMS; micromechanics; delta/sigma-modulation; position control; macro model; electrostatic suspension; resolution enhancement; inertial sensor; gyroscope; acceleration sensor
Abstract:
Eine bekannte Architektur zur A/D-Wandlung ist die Delta/Sigma-Modulation. Angewandt auf mikroelektromechanische Systeme (MEMS) zeichnet sie sich durch perfekte Kompatibilität zu Systemen mit kapazitiver Signalwandlung, elektrostatischer Kraftrückkoppelung und integrierter „Switched Capacitor“-Schaltungstechnik aus. In dieser Arbeit wird eine Auflösungsverbesserung von mikromechanischen Inertialsensoren erzielt, indem die in dieser Systemarchitektur enthaltene Rückkoppelung zusätzlich zur Positi...    »
Translated abstract:
A well known architecture for A/D-conversion is the Delta/Sigma-modulation. Being applied to microelectromechanical systems (MEMS) it fits perfectly to systems with capacitive transduction, electrostatic force feedback and integrated switched capacitor circuitry. In this work, an improved resolution of micromechanical inertial sensors is achieved, by using the feedback loop, which is inherent to this system architecture, to additionally control the position of the seismic mass. For the system de...    »
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=601588
Date of submission:
01.10.2002
Oral examination:
22.10.2004
File size:
6015857 bytes
Pages:
244
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss2004102216150
Last change:
25.06.2007
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