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Originaltitel:
Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung
Übersetzter Titel:
Dynamic Control of Microelectromechanical Systems (MEMS) using Capacitive Transduction and Force Feedback
Autor:
Handtmann, Martin
Jahr:
2004
Dokumenttyp:
Dissertation
Fakultät/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.)
Gutachter:
Wachutka, Gerhard (Prof. Dr.); Hierold, Christopher (Prof. Dr.)
Format:
Text
Sprache:
de
Fachgebiet:
ELT Elektrotechnik
Stichworte:
MEMS; Mikromechanik; Delta/Sigma-Modulation; Positionsregelung; Makromodell; elektrostatische Aufhängung; Auflösungsverbesserung; Inertialsensor; Drehratensensor; Beschleunigungssensor
Übersetzte Stichworte:
MEMS; micromechanics; delta/sigma-modulation; position control; macro model; electrostatic suspension; resolution enhancement; inertial sensor; gyroscope; acceleration sensor
Kurzfassung:
Eine bekannte Architektur zur A/D-Wandlung ist die Delta/Sigma-Modulation. Angewandt auf mikroelektromechanische Systeme (MEMS) zeichnet sie sich durch perfekte Kompatibilität zu Systemen mit kapazitiver Signalwandlung, elektrostatischer Kraftrückkoppelung und integrierter „Switched Capacitor“-Schaltungstechnik aus. In dieser Arbeit wird eine Auflösungsverbesserung von mikromechanischen Inertialsensoren erzielt, indem die in dieser Systemarchitektur enthaltene Rückkoppelung zusätzlich zur Positi...     »
Übersetzte Kurzfassung:
A well known architecture for A/D-conversion is the Delta/Sigma-modulation. Being applied to microelectromechanical systems (MEMS) it fits perfectly to systems with capacitive transduction, electrostatic force feedback and integrated switched capacitor circuitry. In this work, an improved resolution of micromechanical inertial sensors is achieved, by using the feedback loop, which is inherent to this system architecture, to additionally control the position of the seismic mass. For the system de...     »
Veröffentlichung:
Universitätsbibliothek der TU München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=601588
Eingereicht am:
01.10.2002
Mündliche Prüfung:
22.10.2004
Dateigröße:
6015857 bytes
Seiten:
244
Urn (Zitierfähige URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss2004102216150
Letzte Änderung:
25.06.2007
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