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Titel:

Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation

Dokumenttyp:
Buch
Autor(en):
Reutter, T.
Herausgeber:
Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D.
Band / Teilband / Volume:
Vol. 47
Serientitel/Schriftenreihe:
Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Verlag / Institution:
Shaker Verlag
Verlagsort:
Aachen, Germany
Seiten/Umfang:
132
Jahr:
2015
Print-ISBN:
978-3-8440-3490-5
Sprache:
de
Format:
Text
 BibTeX