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Title:

Charakterisierung und Optimierung piezoelektrischer MEMS-Mikrophone mittels physikalischer Modellierung und Simulation

Document type:
Buch
Author(s):
Reutter, T.
Editor:
Wachutka, G. u. Schmitt-Landsiedel, D.
Volume:
Vol. 47
Bookseries title:
Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
Publisher:
Shaker Verlag
Publisher address:
Aachen, Germany
Pages:
132
Year:
2015
Print-ISBN:
978-3-8440-3490-5
Language:
de
Format:
Text
 BibTeX