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Titel:

Modeling Distributed Electrostatic Effects in Silicon Microphones and Their Impact on the Performance

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Künzig, T.; Schrag, G.; Dehe, A.; Wachutka, G.
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
Kongress / Zusatzinformationen:
SPIE
Jahr:
2015
Seiten:
9517L1-9517L6
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