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- Titel:
Acoustic High-Frequency Effects Inside the Package of Capacitive Silicon Microphones and Their Impact on the Device Performance
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Schrag, G.: Künzig, T.; Glacer, C.; Dehe, A.; Wachutka, G.
- Seitenangaben Beitrag:
- 95170M1-95170M6
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
- Datum der Konferenz:
- May, 4-6
- Jahr:
- 2015
BibTeX
Vorkommen:
- mediaTUM GesamtbestandEinrichtungenSchools TUM School of Computation, Information and TechnologyDepartmentsElectrical EngineeringMicrosensors and Actuators (Prof. Schrag)